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Eine ultrareine,
zuverlässige Plattform zur Wafer-Handhabung

Die EFEM-Plattform wurde entwickelt, um die Genauigkeit und Effizienz in der Halbleiter- und Elektronikfertigung zu steigern. Sie automatisiert die Handhabung von Wafern und Materialien und verfügt über integrierte Vorrichtungen zum Ausrichten und Prüfen, um die Qualität sicherzustellen.

Die Plattform lässt sich nahtlos installieren, einfach einrichten und flexibel an  verschiedene Fertigungsanforderungen anpassen.

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